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- 角度定位工作台SA
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介绍：
IKO校准工作台SA･･･DE在直线导轨部使用IKO C套筒直线导轨L，在旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，在驱动部采用直接驱动方式，是实现了XYθ运动的低截面紧凑型校准工作台。产品详情页请点击这里 校准工作台SA･･･DE通过组合高分辨率线性光栅尺和全闭环控制，实现了没有背隙的高精度定位动作。包括半导体及液晶相关制造装置在内，最适合作为基于图像处理的定位处理、要求清洁环境的测量仪和检查装置等设备的定位机构。
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